北京华沛智同纯化学抛光机
LogitechCP3000化学抛光设备能很好的满足腐蚀抛光溶剂,同样也适用于腐蚀性较弱的Chemlox抛光,如半导体晶片的背抛光。现在的电子器件对于晶片尺寸,表面平整度、平行度及厚度控制都有非常苛刻的控制要求,而CP3000化学抛光机,特别是跟Logitech的晶片处理系统配合使用作为Z后一个步骤时,能完全达到这些控制标准。
精细的半导体晶片及其它电子、光电晶体的表面抛光都要求***低的次级表面损伤,这就需要进行一道,腐蚀抛光工艺。这些工艺中使用的化学剂,如******,***或酸腐蚀剂等,都有很强的化学腐蚀作用,这就需要操作的设备具有防腐蚀的功能并适合这些操作,而且安全。LogitechCP3000化学抛光设备能很好的满足这些腐蚀抛光溶剂,同样也适用于腐蚀性较弱的Chemlox抛光,如半导体晶片的背抛光。现在的电子器件对于晶片尺寸,如表面平整度、平行度及厚度控制都有非常苛刻的控制要求,而CP3000化学抛光机,特别是跟Logitech的晶片处理系统配合使用作为***后一个步骤时,能完全达到这些控制标准。
配置:机器由一个主驱动单元,大约410mm(16”)见方,一个防腐蚀的填料单元,一个废料槽和一个远程控制模块组成,按需要这个模块可以安放在通风框外。抛光盘下有一个可移除的PVC拖盘,用以保护主机内部,并且容易清洗。标准型机器有一个齿轮驱动装置,样品在行星齿轮内绕着中心齿轮转动。偏心驱动版本的机型是同防Chemlox化学腐蚀的半月夹手臂一起使用,这个版本的机器可以带动样品进行左右摆臂。同时还带有一个自动填料装置。偏心版本也可以接受三个位置的往复摆臂。
1、***典型的应用是以下材料等在封装及外延生长前的末级化学腐蚀抛光;
2、用于红外探测和其它器件的碲锌镉,锑化铟,碲镉***;
3、薄的或超薄的半导体材料,如***化***,磷化铟和多种Ⅲ-Ⅴ族,Ⅱ-Ⅵ族化合物(ASIC’s等);
4、***及类似的光电材料。
有关纯化学抛光机信息请见:http:///SonList-ml
更多详情请见:http:///st322509/ml