实验室供气系统气体管路
实验室供气管路系统工程主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体，保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受******气体的侵害。按照国标要求，将所用全部气体存放于储气间，并实现集中输送，组成***供气系统。系统采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式，在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制；并能够保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化，满足分析检测设备对使用气体的技术要求。
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实验室气路安装要求
1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端，对气体纯度要求不是太严格的地方。
2、气路安装管道不得和电缆、导电线路同架铺设。
3、易1燃气体，如乙1炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。
4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。
5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。
6、每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。
7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。
8、每隔1.5米左右，高纯供气系统公司，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气路安装管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。
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电子特气系统的维护
由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要***、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且安全可靠。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，确保气柜各管路与阀门吹扫干净。
（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（N2purge），一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12PSI，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（PT）受温度的影响，一般有2PSI的正负波动。
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