在众多消除静电的方法中，净化工程的湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化工程静电。通过在环境中保持高的相对湿度，在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层，利用这一薄层来提供导电的通道，使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外，薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性，摩擦生电也将减少。一般来说，湿度越低，产生的电荷越多。但是资料表明，甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压，但是，在高湿度环境中，生产人员可能会感觉十分不舒服，零部件可能生锈，并产生可焊性问题。同时，企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的，尤其在干燥地区更是如此。
无尘室的消防安全要求如下：
1、洁净室应进行专门设计，其主体建筑应为一、二级耐火等级；吊顶、分隔墙等构配件及保温、隔热、装饰材料，应尽量采用不燃材料或经过防火处理的材料。
2、洁净厂房的排风系统。应设置调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必须设置防火阀。
3、有、物品的无尘室、电气要符合防爆要求；电气敷设和安装要从严要求，暗敷的电线当中不得有接头。对电气设备要经常维修，用后及时切断电源。对需要长开的电气设备，下班后应有专人巡逻检查。
4、为防止起火和燃烧，便利疏散与抢救，对防火墙间蕞大允许占地面积和防火分隔以及疏散路线等，一般应比其他建筑有更高的要求。出入口或拐弯处应有紧急照明灯。
5、其他建筑改建为洁净室的，也应进行专门设计，并经消防部门审核。一般不得***原来的防火分隔，新用的保温、隔热、分隔等材料及装饰材料尽量不要采用可燃材料，如要使用的，应经过防火处理。
6、无尘车间内不得使用明火加热，采用电加热的必须密闭，并严格控制加热温度。各种加热装置均应安装在不燃基座上。
7、使用液体和气体的无尘室，应安装排风设备，操作台应有***的排风装置。液体蒸气和气体的尾气管应与排风系统分开。
怎样维护好洁净室工程
在无尘车间中，由于静电的不良影响，会导致微粒污染，静电放电（ESD）以及设备故障等问题。现代的过滤技术可以防止绝大部分的外部粉尘进入洁净室。但是，在洁净室内部，粉尘依然会在工作人员，生产设备以及部分生产过程中产生。令人遗憾的是，通常这些粉尘源都会比较靠近产品。如果物体表面带了静电，由于静电吸引就会吸附在洁净室层流中传播的粉尘。亚微米级的尘粒会影响到高科技产品的质量，它们一旦被吸附，产品表面就很难清除。
静电放电也会产生电磁干扰（EMI）现象。这将会妨碍到产品设备（特别是基于微处理器的机器人技术）的正常工作。发生在某部分设备上的静电放电，也可能会影响到附近其他设备的运转，这样就很难找出问题出在什么地方。 一个的污染控制流程，必须将静电问题作为洁净室污染的一种类型，将其测量和处理纳入其中。
