表1 小管径管道用液氮汽化置换换算系数
序号 公称直径 换算系数 备注 1 DN200以内 0.6 换算子目5-3402 2 DN300以内 0.7 换算子目5-3402 3
DN400以内
0.8
换算子目5-3402
注:相应的分析化验台班不做换算。
6.分析化验台班:按设计文件或氮气置换方案确定的分析化验台班数量计算。若无明确规定,则按每一置换段管道或管段进气、出气端各设置一个分析化验点计算。
7.置换机械设备台班停滞占用费,计算方法为:每超过7小时计一台班,行驶设备按台班费用的80%计算,非行驶设备按台班费用的50%计算(台班单价按定额机械台班费计)。
8.操作人员等待费,计算计算方法为:每超过7小时计一工日,只计人工工日单价44.50元/工日,长输管道氮气置换,不再计取费用。
高纯气体输送系统的方案设汁
管道材料溶解到纯水 中的杂质浓度太低了 , 使得许多仪器无法分辨 出来 有两种方法 尚 能相对地对管道材料做一些 比较 浸泡试验 这是将一定面积的管道材料严格清洗后 浸泡在超纯水中,管道氮气置换, 或将超纯水装 人经严格清 洗的 一 定 长 度的 管道 中, 经 一 定 时 间 的 浸 泡 , 测定浸泡前后各种 离子和 TOC的变化经计算可得到单位时间内单位面积的管道杂 质的释放里 , 可 以做各种管材的相对 比较 用 将管道患矛切下显微镜观测管谁内壁 涪, 内璧戮徐金后用 电子显 徽镜观测 , 观察材料表面 的徽孔 徽孔多易 于沉积徽拉和细蔺 观侧 资料证明,管道氮气置换方案, 管 道内壁相当光滑 , 而 PP管内壁有 阳的0.3-1 微孔
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者,每一位工作人员都应该在使用前对各种***气体的安全数据加以了解,天燃气管道氮气置换,并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲,我们将有三重保障来防范万一有意外发生的***气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路;第二个是持续不断的排气抽风系统(Exhaust),管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统,以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有***体的泄漏,排气抽风系统将******时间抽出;另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统,若发生任何有***体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到,这个控制系统将根据气体外泄对***危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作,严重时紧急关闭上游所有气源,同时会驱动***控制室和现场的相关报警系统LAU,甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散,要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作,所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
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