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4.2 丝网
常用的丝网材料有不锈钢和尼龙 2 种。不锈钢丝网的特点是丝径细、目数多,耐磨性好,强度高,尺寸稳定,拉伸性小,由于丝径精细,油墨的通过性能好,尺寸精度稳定,适于太阳能电池片的印刷。尼龙丝网是由化学合成纤维制作而成,具有很高的强度,耐磨性、耐化学***性、耐水性、弹性都比较好,由于丝径均匀,表面光滑,故油墨的通过性也好。其不足是尼龙丝网的拉伸性较大。这种丝网在绷网后的一段时间内,张力有所降低,使丝网印版松驰,精度下降,在太阳能电池片的印刷中采用不锈钢丝网。
制作丝网:制作丝网图形由***厂商订做,要根据印刷图形的精度选择丝网目数的高低、丝径的粗细、丝网开口面积的大小、丝网伸缩率的大小等,表 1 为日本特殊织物会社的部分丝网技术规格。
丝网的目数及丝径决定可印刷图形的宽度;对于背银和背铝这 2 道工序印刷由于实际印刷图形不复杂,所以对丝网要求不高,主要考虑印刷厚度即可,一般选用 250 ~ 280 目即可满足要求;正银印刷是对印刷要求高的一道印刷工序,主要是保证栅线的宽度要求及印刷膜厚的均匀性,一般选用 300 ~ 330 目,印刷后栅线的宽度值取决于丝网的线径及网孔的宽度。

电池片的制作工艺
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影响因素
1 .频率
射频 PECVD 系统大都采用 50kHz~13.56 MHz 的工业频段射频电源。较高频率( gt;4MHz )沉积的氮化硅薄膜具有更好的钝化效果和稳定性。
2 .射频功率
增加 RF 功率通常会改善 SiN 膜的质量。但是,功率密度不宜过大,超过 1W/cm2 时器件会造成严重的射频损伤。
3 .衬底温度
PECVD 膜的沉积温度一般为 250 ~ 400 ℃ 。这样能保证氮化硅薄膜在HF 中有足够低的腐蚀速率,并有较低的本征压力,从而有良好的热稳定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉积的氮化硅膜,本征应力很大且为张应力,而温度高于 450 ℃ 时膜容易龟裂。
4 .气体流量
影响氮化硅膜沉积速率的主要气体是 SiH4 。为了防止富硅膜,选择NH3/SiH4=2~20 (体积比)。气体总流量直接影响沉积的均匀性。为了防止反应区下游反应气体因耗尽而降低沉积速率,通常采用较大的气体总流量,以保证沉积的均匀性。
5 .反应气体浓度
SiH4 的百分比浓度及 SiH4/NH3 流量比,对沉积速率、氮化硅膜的组分及***性质均有重大影响。
理想 Si3N4 的 Si/N = 0.75 ,而 PECVD 沉积的氮化硅的化学计量比会随工艺不同而变化,但多为富硅膜,可写成 SiN 。因此,必须控制气体中的 SiH4 浓度,不宜过高,并采用较高的 SiN 比。除了 Si 和 N 外, PECVD 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子,即 SixNyHZ 或 SiNx :H 。
6 .反应压力、和反应室尺寸 等都是影响氮化硅薄膜的性能工艺参数。

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电池片差别
太阳电池开始面世的是单晶硅太阳电池。硅是宇宙上极丰富多彩的这种原素,基本上满地常有硅的存有,百口莫辩取之不竭,用硅来生产制造太阳电池,原材料可以说不缺。可是提炼出它却不易,因此大家在生产制造单晶硅太阳电池的一起,又科学研究了多晶硅太阳电池和非晶硅太阳电池,迄今商业服务经营规模生产制造的太阳电池,都还没跳出来硅的系列产品。我觉得能够生产制造太阳电池的半导体器件许多,随之原材料工业生产的发展趋势、太阳电池的种类将很多。现阶段已开展科学研究和研发的太阳电池,除硅系列产品外,也有***、***化***、铜铟硒等很多种类的太阳电池,不胜枚举,下列详细介绍几类较普遍的太阳电池。归类单晶硅太阳电池。
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