Leybold莱宝真空泵的主要特点:1. 莱宝真空泵浦从一大气压到终l极压力之间皆可运转使用2. 在低真空压下,莱宝真空泵浦仍可保持良好的抽气速度3. 莱宝真空PUMP低噪音、低震动。4. LEYBOLD PUMP内置出口滤心,可达99.9%的油气过滤效果5. 超l强的排除水蒸气的功能6. 空气冷却,爱德华E2M40真空泵销售,经济方便lt;也可选择水冷冷却gt;7. 进气口配置有止回阀,避免泵浦停止时,真空油会逆流8. 结构紧凑、体积小、节省空间9. 非常容易***
式螺杆真空泵:它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空泵。
液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳内形成泵壳同心的环液,环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。
罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。
分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,爱德华E2M30真空泵销售,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,真空泵,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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