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过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用

采取相应的补救措施，保证区域的洁净度 。

DOP（PAO）检漏法原理：过滤器的检漏通常采用DOP（PAO）发生器在过滤器上游发尘，使用光度计（photometer）检测过滤器上下游气溶胶浓度来判定过滤器是否有泄漏。发尘的目的是因过滤器上游尘粒浓度较低，淮北无尘车间，仅用粒子计数器在不发尘的情况下检测，净化无尘车间工程，较难发现有泄漏。

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必须在现场对以下几处进行测试：过滤器的滤材；过滤器的滤材与其框架内部的连接；过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间；支撑框架和墙壁或顶棚之间。

DOP（PAO）检漏的材料、仪器有：尘源（PAO 溶剂）、气溶胶发生器、气溶胶光度计。我公司使用的气溶胶发生器为TDA ?2H手持式Laskin喷嘴型气溶胶生器，它直接使用空气而不需要压缩气体作为动力。

过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用

粒径分布在0.1μm ~0.3μm。冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡，净化无尘车间哪家好，经laskin喷管飞溅产生物态的多分散相DOP（PAO）气溶胶，净化无尘车间安装，分布粒径在0.65μm左右。对过滤器进行扫描检漏时，经常使用冷DOP（PAO）。

检测仪器有两种，一种是气溶胶光度计，另一种是粒子计数器，过滤器检漏中常用的检测仪器是气溶胶光度计（以下简称光度计）。