过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用
按照气溶胶光度计操作要求进行初始化、设定报警值。将UPSTREAM采样管与上游采样口相连，净化车间无尘车间多少钱，测量上游气溶胶的浓度。按照气溶胶发生器操作要求调节发生的气溶胶浓度，使上游气溶胶浓度达到10 mg/L~30 mg/L。
扫描检漏卸下HEPA的散流板，对整个过滤器面、过滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。
无尘车间接地系统的分哪几类？
电子设备接地
可以将直击雷与雷电波***的雷害的概率降低很多。对于一般电气设备， 允许的雷电脉冲较高， 因此采取避雷针 、避雷网防直击雷等措施是极其有效的。微电子设备非常灵敏， 耐压水平很低， 一般只有 10 V左右， 对雷击电磁脉冲极为敏感， 易受到电磁干扰和损坏。雷击电磁脉冲因电磁感应产生，合肥无尘车间， 并且可以通过电源线 、天线 、信号线的耦合被引入微电子设备。
过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用
可将气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入，如要从风管中引入，净化无尘车间工程，则应在距HEPA至少10倍风管直径处引入，并尽量减少拐弯（美国环境科学和技术学会）。一般情况下，保持上游气溶胶达到要求浓度，且浓度波动在一定范围即可。对于层流罩、超净台上的HEPA，气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入。
气溶胶光度计初始化、设定 100%、0%参比标准值。
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