分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
为了避免罗茨泵的误操作，一般多设有旁路溢流阀。根据对罗茨泵的特殊需要，也有将油的齿轮箱，轴承等部件与泵腔做成分离式结构的。
在罗茨泵的压缩过程中产生的热量被传到转子和泵体上。转子很难将热量传至泵外，而泵体的热量很容易被散失到周围大气中。因而转子与泵体之间就出现了温差。加剧了转子的热膨胀。当泵负荷增大时，转子膨胀会消失间隙，而被卡死。因此出现了气冷式罗
茨泵，爱发科VDN301真空泵销售，用冷却的气体或大气去直接冷却热态的转子，从而减少了转子与泵壳间的温差，提高了罗茨泵的抗热能力。
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