什么是流量控制器？
质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）, 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。
流量控制器
质量流量控制器在正常工作时，流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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质量流量控制器主要参数
质量流量精度： ±0.002×流量±零点漂移
密度测量精度： ±0.003g／cm3
密度测量范围： 0.5~1.5g／cm3
温度测量范围： ±1°C
(2) 传感器相关数据：
环境温度： －40~60°C
介质温度： －50~200°C
防爆类型： iBⅡBT3
关联设备： 配套变送器
(3) 变送器相关数据：
工作温度： 0~60°C
相对湿度： 95%以下
电 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W
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