流量控制器分类
热式质量流量器根据热源及测温方式的不同可分为接触式和非接触式两种。
1．接触式热式质量流量器这种质量流量计的加热元件和测温元件都置于被测流体的管道内，与流体直接接触，常被称为托马斯流量计，适于测量气体的较大质量流量. 由于加热及测量元件与被测流体直接接触，因此元件易受流体腐蚀和磨损，影响仪表的测量灵敏度和使用寿命。2）浸入式带测量管的浸入式流量传感器和插入式仪表需要一定长度前置直管段，ISO/DIS14511对此未作具体规定，而按制造厂建议的值。测量高流速、有腐蚀性的流体时不宜选用，这是接触式的缺点。
2．非接触式热式质量流量器这种流量计的加热及测温元件都置于流体管道外，与被测流体不直接接触，克服了接触式的缺点。
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流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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流量控制器如何测混合气体的流量？
质量流量计是采用感热式测量百，通过分体分子带走热量多少从而来测量流量，因为是用感度热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。
即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流专量。
此方法，日系发动机常用。
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