




过滤器DOP(PAO)检漏法在洁净室中的应用
采取相应的补救措施,保证区域的洁净度 。
DOP(PAO)检漏法原理:过滤器的检漏通常采用DOP(PAO)发生器在过滤器上游发尘,使用光度计(photometer)检测过滤器上下游气溶胶浓度来判定过滤器是否有泄漏。发尘的目的是因过滤器上游尘粒浓度较低,仅用粒子计数器在不发尘的情况下检测,较难发现有泄漏。
需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。
人工气溶胶DOP已有近40年历史,一段时间以来,因被怀疑对人有致***作用,现常以DOS(Dioctylsebaeate 癸二酸二辛脂)亦称DEHS[di(2- ethylexyl)sebacate]及PAO(polyaphaolefin聚a烯烃)等代替,但实验方法仍称“DOP(PAO)法”。大气尘由于其浓度随地点及时间等变化,有时较高,有时较低,一般不用来作为检漏用。
必须在现场对以下几处进行测试:过滤器的滤材;过滤器的滤材与其框架内部的连接;过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间;支撑框架和墙壁或顶棚之间。
DOP(PAO)检漏的材料、仪器有:尘源(PAO 溶剂)、气溶胶发生器、气溶胶光度计。我公司使用的气溶胶发生器为TDA ?2H手持式Laskin喷嘴型气溶胶生器,它直接使用空气而不需要压缩气体作为动力。