




扩散压力传感器
扩散硅压力变送器通过温度传感器把温度信号变为电信号,再由前置放大器把此电信号放大滤波,送往CPU的A/D 转换模块进行模拟量到数字量的变换,后由CPU进行数据处理并显示及PWM输出。原理框图如下:被侧介质---〉传感器---〉电子线路---〉输出信号被测介质的压力直接作用于传感器的陶瓷/扩散硅膜片/上,使膜片产生与介质压力成正比的微小位移,正常工作状态下,膜片位移不大于0.025毫米,电子线路检测这一位移量后,即把这一位移量转换成对应于这一压力的标准工业测量信号。超压时膜片直接贴到坚固的陶瓷基体/扩散硅上,由于膜片与基体的间隙只有0.1毫米,因此过压时膜片的位移只能是0.1毫米,所以从结构上保证了膜片不会产生过大变形,该传感器具有很好的稳定性和高可靠性。
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扩散硅压阻传感器的发展与现状
固态压阻传感器自 1967年美国的库利特半导体公司首先为波音公司研制 , 成功用于风洞测试 , 1970年法国斯鲁母贝格公司生产并用于协和式大型客机和阿波罗飞船中 , 国外将其首先用于航空和宇航等军事工业中 , 由于其自身的优点十分引人注目 , 因此 , 近年来 , 美、 日、 德、 法、 英等许多仪器仪表制造厂纷纷研制生产。我国从七十年代初开始研究并取得了较好的成果 , 压阻传感器本身已经历了从结构型到物性型至今天的智能型三个发展阶段。 随着科学技术 , 特别是微电子和计算机技术的发展 , 压阻传感器的灵敏度、 精度和可靠性及信息传输功能大大提高 , 从而扩大了人们对各种现象和过程的观测范围和控制范围。 由于扩散硅压阻传感器具有广泛的应用前景 , 因而压阻传感器的竞争也十分激烈。 元器件的品种增多 , 温压范围已经拓展: 已有微压、 表压、 高压、 绝压、 差压等力敏元件及其配套仪表问世。每年世界性固态压力传感器专利有几十项。 潜在功能比较大 , 既可以代替人类五官感觉的功能 , 也能检测人类不能感觉的信息。
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扩散硅压力传感器选型
1、传感器、变送器的选型:用户根据自己所测压力的性质,首先应确定选择表压(相对于当地大气压)、差压、绝压或负压品种。如果测量液位,还要确定液位上方是自由大气压还是密封容器压力。如果测量密封承压容器内的液位就应该选用差压产品。
2、产品量程的确定:从产品安全考虑,一般选择使工作压力值在标准量程值的60%-80%为宜,整个测量系统中可能出现的异常情况所导致的过载压力不得超过产品允许的较大过载。测量动态管路液体压力时,还应考虑液锤、气锤效应、冲击压力,适当增大产品载量。
3、产品精度选择:用户可依据所检测工况要求各项和某单项参数精度指标,以便用适用的精度要求。产品给出的三项精度指标是采用国际较小二乘法或端基平移法计算的。选用传感器时。精度等级确定应根据测量系统分配发给传感器的很大误差选项取。有时还应考虑零位时漂、零位和满度温度系数带入的附加误差。
4、选择产品的使用温度范围:变送器在组装了电路后又进行了综合温度补偿,对于使用温度范围宽而又要求总精度高的用户,还可在二次仪表数据处理中采用软件执行温度误差修正。超过补偿区使用,温度系数指标可能会超标,但仍可使用。长期在温度极限区工作,将影响产品使用寿命。
5、差压传感器的选择:差压型传感器通常使用在高压端压力高于低压端压力的正差压情况下,虽然扩散硅传感器都可同样用于负差压,一般两引压端基本对称,但负压端一般不另标定,如用户要求两引压端高对称性,需特别告知。
6、频响特性。
7、与被测介质的匹配.
扩散硅传感器产品安装使用注意事项
螺纹连接的产品在安装和拆卸时,必须用扳手紧六方操作,安装时不能拧的过紧,严禁夹持其它部位安装、拆卸,避免损坏相关联结部件。引压孔端不得有尖硬物伸入,以免损毁敏感膜或隔离膜,严禁敲打、撞击、摔跌。
扩散硅传感器零位输出不能直接采用单臂联电阻法进行消除,可采用软件归零法、差动输入修整法、T型电阻网络修正等。