一、镀膜作业步骤:1.镀膜前洗净。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。2.抽检镜片外观确认(裂边,伤痕,不洁)情况,全检镜片锁板情况(镜片倾斜）。3.确认好准备镀膜的镜片(数量,机种,面别)并做好相应记录。4.上伞,将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片。5.区分需要镀膜镜片种类面别。6.清洁坩埚电子枪周围用铜刷刷,吸,并添加***。7.确认晶振片,监控片是否OK在新的位置。8.确认机台内无杂物,后关门排气加热。9.镀膜选取相应的制程。10.人员镀膜过程中进行监控。11.下伞，将镀膜后的镜片从伞架取下,放入包装盒。12.抽检，主要为膜点,雾状,颜色异常,不洁。13.光谱测量采用奥林巴斯反射测定仪和U4100分光光度计。14.伞架每圈抽1PCS共5圈。15.膜强度测试(采用3M胶带粘拉膜3次)。16.光谱量测OK后可送出。
派瑞林纳米涂层式一种高分子热可塑性聚合体，由单体对二在真空状态下均匀分布在被涂装物的缝隙和表层然后聚合。镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜，或镀一层金属膜，目的是改变材料表面的反射和透射特性。运用气相沉积的处理技术，可以于物体表面均匀coating形成膜层，薄膜的厚度可在1微米至 50微米的范围内任意调整。由于在真空状态下操作蒸气无孔不入效率，可形成无膜层， 并地控制膜层厚度，且各处厚度均匀一致，使派瑞林（(Parylene Coating)涂层的覆被特性远优于Epoxy（电泳）、Spary（喷涂）、Dipper（含浸）等涂装方式。
器材作用：防锈、防腐、防霉、防***、润滑
Parylene是一种具有化学惰性又有良好的生物相容性高纯涂层材料，已经通过美国FDA认可，用于各类体内植入，经它涂敷的器件可改善表面润滑型、生物相容性、提高可靠性。Parylene是这些组装方式的防护材料，5微米厚就能耐1000V以上直流击穿电压，因此在微机电系统中，Parylene是一的电介质材料。Parylene的生物兼容性及其生物稳定性使其能够提供良好的防潮、防化学和介电保护。涂敷薄膜的摩擦系数低，因而可以应用于需要润滑的地方。
1. 房间隔缺损封堵器：派瑞林作为涂层置于传统的镍钛合金封堵器表面，这种涂层超薄同形性好、耐腐蚀、与******及血液良好相容，它不仅提供了惰性、生物相容的隔离层，还可有效的防止外界的***、水分和体液的侵蚀，同时增加了封堵器表面的干润性和绝缘性能，并可防止镍离子析出对细胞***的损害。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行烘烤除气。
2. 压力传感器——敏感的电子器件如血压传感器，只需沉积少量Parylene就能充分绝缘，而且少量保护涂层不会明显改变这些器件的操作。
