因 为突沿容易撕裂下来﹐在导线的两点之间形成电的拆接。 影响侧蚀的因素有很多﹐下面将概述几点﹕ 蚀刻方式﹕ 浸泡和鼓泡式蚀刻会造成较大的侧蚀﹐泼溅和喷淋式蚀刻的侧蚀较小﹐尤以喷淋蚀 刻的效果很好。 蚀刻液的种类﹕ 不同的蚀刻液, 其化学组分不相同﹐蚀刻速率就不一样﹐蚀刻系数也不一样。 例如﹕酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为 3﹐而碱性氯化铜蚀刻系数可达到 4。 蚀刻速率﹕ 蚀刻速率慢会造成严重侧蚀。 提高蚀刻质量与加快蚀刻速率有很大的关系, 蚀刻速 度越快, 基板在蚀刻中停留的时间越短﹐侧蚀量将越小﹐蚀刻出的图形会更清晰整 齐。蚀刻液的密度﹕碱性蚀刻液的密度太低会加重侧蚀﹐选用高铜浓度的蚀刻液对减少侧蚀非常有利。这就要选择容易 再生和补偿, 而蚀刻速率又容易控制的蚀刻液, 并 选用能提供恒定的操作条件和能自动控 制各种溶液参数的工艺和设备, 通过控制溶铜量、 PH 值、 溶液的浓度、 温度及溶液流量 的均匀性(喷淋系统或喷嘴, 以至喷嘴的摆动)等来实现蚀刻速率的一致性。 3. 提高基板表面的蚀刻速率的均匀性 基板的上下两面以及板面上各部位的蚀刻的均匀性, 皆决定于板表面受到蚀刻剂流 量的均匀性所影响。 在蚀刻的过程中﹐上下板面的蚀刻速率往往并不一致。 一般来说﹐下板面的蚀刻速 率会高于上板面。11、填漆:金属蚀刻标牌的填漆有好几种,对于此类标牌推荐一下两种:①喷漆:需要空压机和喷枪——适用于标牌尺寸较大、字体较大的标牌。
一、二槽酸液蚀刻 Glass 材料时设置的温度、速度、需根据酸液的浓度及材料导电层附着力的强弱而调节,以能完 全蚀刻、不短路为原则并配合碱段的参数; b.同时生产前需做首件检测原材料方阻,方阻需在要求范围之内才可正常生产; c.两槽酸液流量要适中范围; d.如出现刻不断等其它的现象时请优先调整各阶段的速度以 1.5 为基准往上调或往下调;在相关的化学蚀刻(亦称之为光化学蚀刻或PCH)领域中﹐研究工作已经开始﹐并达至蚀刻机结构设计的阶段。 e.酸槽的速度必须小于不等于碱槽的速度。 (2)碱洗、脱膜(Glass)
注: a.烘干速度应与碱洗速度相同; b.水洗时水量较大,要确保冲洗干净。 (4)注:开机运行到设定温度后(约 15~20 分钟),方可测试酸液及碱液的浓度,其在规定范围内可进行生产。
二、酸溶液的配制 1.酸液 1)第二槽酸液配制方法: a.开槽配 360 升左右酸液 b.配制比例: 盐酸 HCL(36~38%) : 纯水 H2O 1 : 1.5 c.取 178 升的 HCL 慢慢加入 267 升纯水中(边搅拌边加入) 。配好后测试酸的当量浓度,在范围内方可使用。在PCH工业中,蚀刻铜箔的典型厚度为5到10密耳(mils),有些情况下厚度却相当大。