




善测(天津)科技有限公司依托高校科研与******实验室的资源和技术优势,截止2016年底,公司仅在成立1年多的时间里,高技术人才***已扩充至12人。已申请专利数量达8项,2016年公司营业额突出210万元。预计2017年再申报10项专利,营业额达到700万元。
在2017年新的一年里,善测科技公司将在以下几个项目里完成预计的进度和新的突破。 1、高精度精密电容测微仪预计在2017年中旬完成高、中、低档产品系列化。目前高duan产品已经开始小批量生产。2、振动及间隙测量系统已经完成升级优化,目前正与天津大***合参与商发机载项目合作,已完成工程样机评审,预计2017年进行初步测试。3、便携式LIBS***检测仪处于实验室原理验证阶段,预计2017年下半年完成样机开发。4、滑油金属屑末为2017年***研发产品,预计2017年年底完成产品开发。
被测非电量的变化变换成电容量变化的一种传感器,它与常规的光电传感器、电阻式、电感式传感器相比有如下优点:
输入能量极低,需要非常小的输入。由于带电极板间静电引力很小,约到10-5N量级,因此它特别适用于解决输入能量低的测量问题,如微小位移和微小压力变化的精密测量。
作为电容式测微仪的核心,发展的较为成熟、应用较为广泛的转换电路形式有调频式、运算放大式、脉冲调宽式和AC桥路法等;按结构形式分类,电容位移传感器可以分为,变极距型、变面积型和变介质常数型等。变面积型电容传感器可以测量较大的位移,量程为零点几毫米至几毫米之间,线性度优于0.5%,分辨力为0.01~0.001μm。变极距型电容传感器主要适用于较小位移的测量量程在0.01μm至几百微米,精度可达到0.01μm以内,分辨力可以达到0.001μm以内。其中***基本的是平面变极距型,主要用于精密测量、精密***等。电容测微仪可以测量一般的长度,也可测量振动、压力、介质的温度等多种参数。它既可以进行静态测量,也可以进行动态测量;据目前相关材料看,电容测微仪的分辨力可以达到1nm~0.1nm,用于测量微位移及微小尺寸的系统精度能达到10nm左右,测量压力及压差的系统精度达到帕级,此外测量振动、薄膜厚度及液位的仪器均得到成功的应用,特别是近年来出现的成功应用电容测微仪技术测量盲小孔和微孔直径。现在电容测微仪的主要生产厂家有天津大学精仪学院,英国Queensgate Instrument公司,美国Wanye Kerr公司等。
在电容微位移测量中,电容位移传感器对微位移的测量越精准、响应速度越快、非线性越小,整体性能就越好。首先由传感器感受微位移的变化,并将其转换成电容量的变化,然后经过信号转换电路将电容量的变化转换成可测的电压信号,然后利用A/D转换器实现信号的采集,由单片机进行信号的处理和传输。***终实时显示,并进行线性拟合给出相关数据。
以电容式微位移传感器为基础,利用运算放大器测量电路原理,当恒定频率的正弦激励电流通过传感器电容时,传感器上产生的电压幅值与电容极板间隙成比例关系。主放大器具有高输入阻抗,保证足够大的开环增益以实现高精度运算,其输出为一调幅波,幅值的变化与被测位移变化一一对应。通过全波整流电路、增益滤波电路对放大的被测信号进行解调,***后进入A/D转换进行数据处理,在单片机的控制下完成数据的显示等过程,提高了输出信号的抗干扰性。
光学干涉显微镜测量技术,包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于F-P(Febry-Perot)标准的测量技术等。随着新技术、新方法的利用亦具有纳米级测量精度。外差干涉测量技术具有高的位相分辨率和空间分辨率,如光外差干涉轮廓仪具有0.1?nm分辨率;基于频率跟踪的F-P标准具测量技术具有极高的灵敏度和准确度,其精度0.001?nm,其测量范围受激光器调频范围的限制,仅有0.1?μm。而扫描电子显微镜(SEM)可使几十个原子大小物体成像。