电感耦合等离子体质谱仪
测定超痕量元素和同位素比值的仪器。由等离子体发生器，雾化室，炬管，四极质谱仪和一个快速通道电子倍增管(称为离子探测器或收集器)组成。其工作原理是:将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化,解离出离子化气体,通过铜或镍取样锥收集的离子,在低真空约133.322帕压力下形成分子束,再通过1~2毫米直径的截取板进入四极质谱分析器，经滤质器质量分离后，到达离子探测器，根据探测器的计数与浓度的比例关系,可测出元素的含量或同位素比值。其优点是:具有很低的检出限(达ng/ml或更低)，基体效应小,谱线简单，能同时测定许多元素，动态线性范围宽及能快速测定同位素比值。地质学中用于测定岩石、矿石、矿物、包裹体，地下水中微量、痕量和超痕量的金属元素，某些卤素元素、非金属元素及元素的同位素比值。
电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)
电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)是20世纪80年代早期发展起来的商品化的分析技术。这项技术已经应用于几乎所有分析领域内痕量、微量和常量元素的测定。
该技术的优势包括:
（1）元素覆盖范围宽：包括碱金属、碱土金属、过渡金属和其它金属类金属、稀土元 素、大部分卤素和一些非金属元素；
（2）性能好：灵敏度高，背景信号低，检出限极低； 分析速度快：由于四极杆分析器的扫描速度快，每个样品全元素测定只需大约4分钟；
（3）线性范围宽：一次测量线性范围能覆盖9个数量级；能够提供同位素的信息。
电感耦合等离子质谱工作原理
质谱分析法主要是通过对bai样品的离子的质荷比的分du析而实zhi现对样品进行定性和定量的dao一种方法。因此，质谱仪都必须有电离装置把样品电离为离子，有质量分析装置把不同质荷比的离子分开,经检测器检测之后可以得到样品的质谱图，由于有机样品,无机样品和同位素样品等具有不同形态、性质和不同的分析要求,所以，所用的电离装置、质量分析装置和检测装置有所不同。但是，不管是哪种类型的质谱仪，其基本组成是相同的。都包括离子源、质量分析器、检测器和真空系统
