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北京凯硕恒盛科技有限公司

普通会员6
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企业等级:普通会员
经营模式:生产加工
所在地区:北京 北京
联系卖家:王工
手机号码:15201528687
公司官网:www.grindingchina.com
企业地址:北京市朝阳区久文路六号院宇达创意中心84号楼103单元
本企业已通过工商资料核验!
企业概况

2010年北京凯硕恒盛科技有限公司成立,我们与韩国设备厂家合作,整合资源,为客户提供完善的解决方案和良好的服务。为顺应各行业的迅猛发展,快速服务于中国乃至世界数控设备行业;从设备的研发、设计、生产和销售,我们与国外的设备生产厂家保持密切的联系,站在客户使用的角度,不断改进,以满足客户的各种需求和越发......

半导体减薄砂轮生产商服务为先

产品编号:1655106896                    更新时间:2020-07-14
价格: 来电议定
北京凯硕恒盛科技有限公司

北京凯硕恒盛科技有限公司

  • 主营业务:双面研磨机,单面磨,内圆磨,外圆磨,减薄机等
  • 公司官网:www.grindingchina.com
  • 公司地址:北京市朝阳区久文路六号院宇达创意中心84号楼103单元

联系人名片:

王工 15201528687

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产品详情







影响诚薄机诚薄硅片平整度的因素有哪些?

要保证硅片厚度的一致性。因为当研磨时,由于磨料分布不均匀,使得行星齿轮片_上、下硅片研磨速度也会不一样,所以要想保证硅片的减薄速度一样,就必须在每研磨到一定时间时将行星齿轮片翻转后再进行研磨,从而确保硅片厚度的一致性,同时也让硅片厚度公差得以缩小,具体要研磨多久才进行翻车专为适当,是要根据减薄厚度和测试结果来定的。

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在经过减薄加工的硅片厚度公差和平整度是与行星齿轮片的平整性有着必然联系的。因为行星齿轮片采用的是球墨铸铁加工制成的,相对行星齿轮片的平整度要求是比较高的,如果行星齿轮本身不够平整的话,减薄出来的硅片它的平整性就会随之受到影响而变差,同时厚度公差也会增大;还有就是在研磨时一定要确保磨料的流量不变,尤其是减薄前硅片本身的厚度要足够均匀才可以,如果硅片在高温扩散后出现变形,导致其弯曲,而弯曲程度相对较大时,那么在减薄的过程中是极易破损的,或者出现较大的厚度误差。因此,减少扩散工艺引起硅片变形是提高硅片平整度和减少厚度公差的一个十分重要的因素。



减薄机主要特点

减薄机主要特点:

1、吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,直径320-600mm。。

2、砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。

3、砂轮进给模式分三段设置,能更方便地设置有效的减薄方案,提高减薄后的精密度和表面效果,

4、对刀方式在不改变砂轮和吸盘的情况下,针对不同厚度的工件只需要一次对刀就可以连续工作,不需要每次都要对刀。

5、本机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光栅尺检测。

6、本机采用***的台湾品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。

7、设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。

8.减薄,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度高可减薄250微米。


硅片减薄机

主要用途:

非常适合于工件硬度比较高,厚度超薄,且加工精度要求高的产品。如: LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片等各种材料的快速减薄。

工作原理:

1.本系列横向研磨机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损,而且磨削均匀生产。

点:

1.可使工件加工厚度减薄到0. 02m厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在 0.002m范围内。

2.减薄; LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um o硅片每分钟可减薄250um o

3.系列研磨机采用CNC程控系统,触摸屏操作面板。


北京凯硕恒盛科技有限公司电话:010-65729550传真:010-88632570联系人:王工 15201528687

地址:北京市朝阳区久文路六号院宇达创意中心84号楼103单元主营产品:双面研磨机,单面磨,内圆磨,外圆磨,减薄机等

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