流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?
质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误，气体热质量流量计型号， 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明， MFC都采用氟橡胶密封，气体热质量流量计说明书， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。
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流量控制器的应用场合
1、公用工程---电﹑气﹑ 水处理的监控
质量流量控制器应用于管道的气体；通用系统；沼气；煤气；液化气；锅炉预热空气。
2、石油工业
能量交换；填井气回收； 燃气计量；气体质量分析；泄漏气测试；火炬气的监控。
3、电力行业
质量流量控制器应用于燃料系统中气体分配过程中的气体测量；锅炉及辅助系统中各种气体的测量；燃气炉中气体测量；氢气测量；电厂高炉的一次风、二次风的测量。
4、化学行业
烟气循环监测；采样系统中气体流量计量；引风机的气体流量计量；化肥厂氨气测量；电池工厂各种气体流量测量。
5、冶金行业
质量流量控制器应用于钢铁厂加气测量；炼铁厂高炉煤气的测量；焦化厂焦炉煤气的测量；轧钢厂加热炉燃气（高炉煤气、焦化煤气等）的测量控制；热处理淬火炉等的氢、氧、氮等气体的控制。
6、纸浆与造纸行业
废水处理系统中气体的测量；烟道流量监控；锅炉回收二次/三次空气；锅炉的燃气和空气送风测量。
7、食品行业
质量流量控制器应用于加工操作中新鲜空气的加入；
8、环保
质量流量控制器应用于沼气利用过程中的气体测量；污水处理过程中曝气池的气体测量；烟筒烟道排气监测SO2和NOX的排量。
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什么是流量控制器？
质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）， 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器， 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）， 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，气体热质量流量计原理，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，气体热质量流量计，质量流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
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