




由于超精密加工的精度等级和表面质量都很高,因此,一定要有相应的检测手段,才能验证工件是否达到了相应的技术要求。在精密超精密加工和测量中,对测量技术提出了更为严格的要求,即要求测量误差比加工误差高一个数量级。目前,超精密测量仪正向高分辨力、高准确度和高可靠性的方向发展。公司发展了分辨率均可以达到1?nm的测量元件;超精密测量用电容测微仪电容测微仪的特点是非接触测量,精度高、价格低。美国HP、zygo、英国Taylor等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。
制造业是国民经济的支柱产业,随着制造业的快速发展,尤其是***制造技术的出现,新工艺、新加工方法不断涌现。精密加工和超精密加工是***制造技术的重要支柱,也是提高制造技术水平的关键。当前,在制造自动化领域,进行了大量有关计算机辅助技术软件CAD、CAPP、CAM的开发,计算机集成制造技术CIM、生产模式(如精良生产、敏捷制造、虚拟制造等),以及清洁生产和绿色制造等研究,代表了当前制造技术的一个重要方面。但这绝非高新制造技术的全部,作为制造技术的主战场,仍然要靠精密加工和超精密加工技术。由于带电极板间静电引力很小,约到10-5N量级,因此它特别适用于解决输入能量低的测量问题,如微小位移和微小压力变化的精密测量。