安装净化空调系统、水与气体的净化装置以及电气装置等用室是净化工程的重要组成部分。它们的面积在净化工程实施中占有较大比例。这些工程机房的规模、设备特征、机房位置及其分配管路系统的安排，在很大程度上影响着洁净厂房建筑的空间组合与尺度。需要解决好，它们同生产工艺相互间的布局关系，以取得使用上和经济上的良好效果。
各类机房主要借管道线路同洁净生产区相联系，因此它们既能同所服务的洁净室组合建，在一幢厂房内也可单独建设。组合建在一幢厂房内时，可以缩短管道长度，减少管道接头和相应的渗漏污染机会,降低能源消耗，并且节约用地，减少室外工程和外墙材料消耗，当机房位于洁净室的外围时,还可减少洁净室的外墙面积，降低洁净室围护结构的散热量。但在一些技术改造工程中为了利用原有房屋,或者受到特殊条件限制，单独建造净化空调机房，并同洁净厂房保持一定的距离。此外，若净化工程对于防微振有特殊要求时,也可将机房与厂房脱开布置。
对有防静电环境要求的净化工程常用的几种办法
1、选用合适的材料：
净化工程装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。
2、接地：
接地是带电导体消除静电为普遍、经济、简便、可靠的方法。
(1)净化工程内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。
(2)净化工程的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，可以***尘埃的带电吸附。
(3)工艺设备接地。
(4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。
(5)净化工程工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。
无尘车间的维护和管理：
一、 由于风管内的灰尘经过中效过滤器的过滤已清除90%的灰，如定期更换中效则风管的污染程度要比一般的空调风管好得多，因此风管系统的内部彻底清洁并不是必须的，每两年清洗一次对洁净度较高的无尘车间也是可以接受的。 又则清洗风管时引起的震动会严重影响深圳无尘车间的尘量和工作气流要求，因此建议在检修期间施工。
二、为减少灰尘的来源，上下技术夹层内所有表面彻底清洁是必要的，也建议在开工前或期间， 以免工作期间引起震动影响无尘室尘量。 对千级以上的东莞无尘车间，FFU内部也应彻底定期清洗。
三、压差控制是一项关系重大的工作，频繁测试工作量大，完全根据经验和感觉不可取，建议采用AHU电动风量调节阀。超过滤器终阻力达到400-600Pa建议过滤器应更换，其他下列情况发生，空气过滤器也应予更换：
1、 气流速度降到蕞低限度，即使更换初效和中效空气过滤器后，气流速度仍不能增大。
2、 空气过滤器风量为原风量的70%。
3、空气过滤器出现无法修补的渗漏。
静电放电也会产生电磁干扰（EMI）现象。这将会妨碍到产品设备（特别是基于微处理器的机器人技术）的正常工作。发生在某部分设备上的静电放电，也可能会影响到附近其他设备的运转，这样就很难找出问题出在什么地方。 一个的污染控制流程，必须将静电问题作为洁净室污染的一种类型，将其测量和处理纳入其中。
除了会使洁净室中的除尘变得更加困难外，静电还会带来其他的生产问题。未加控制的静电传导——静电放电——会直接对产品产生危害。危害到半导体、磁盘零部件以及多种类型的薄膜和涂层。
尘粒污染在半导体、磁盘驱动器和FPD产业中臭名昭著。它们会导致组件报废或者损害磁头和磁盘介质。一个平面显示器很可能因为单单一个带静电的尘粒而被***掉。对于带静电的尘粒在其质量上所带来的后果可能会更为严重。在制药、食品加工还有其他生命科学行业中，还必须考虑吸附在尘粒上的微生物的影响。
