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过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用

粒径分布在0.1μm ~0.3μm。冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡，经laskin喷管飞溅产生物态的多分散相DOP（PAO）气溶胶，分布粒径在0.65μm左右。对过滤器进行扫描检漏时，合肥无尘车间，经常使用冷DOP（PAO）。

检测仪器有两种，一种是气溶胶光度计，另一种是粒子计数器，过滤器检漏中常用的检测仪器是气溶胶光度计（以下简称光度计）。

无尘车间 01车间内的气流一定要均匀地来回送风排风02气流的送风量及风速一定要注意，足够的通风换气才能使无尘生产车间内的空气污染排除03无尘生产车间内的温湿度要控制好，防止因温湿度影响产品的生产和质量无尘车间送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。发尘量 净化无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内;在无尘车间室内装修建筑工程施工全过程中，务必随时随地清扫尘土，对隐蔽工程室内空间（如装修吊顶和夹墙內部等），净化无尘车间费用，还应搞好清扫纪录。塑胶板和卷材整体面层铺贴前应事先按规格型号尺寸，薄厚归类，板才或卷材与路面中间应满涂粘结剂，表面擀平，净化无尘车间厂家，不可忘涂或残留气体。

过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用

除5套因安装时密封不好，后经重新安装调整再测外，55套过滤器全部达标。

结果判定及处理：过滤器泄漏率应≤0.01%。若 HEPA在检测过程中，所有点的%LEAKAGE（泄漏率%）都不超过0.01%，则判该HEPA合格，若有一处超过0.01%，净化车间无尘车间工程，则判为不合格，并将该点标记出来，需修补或更换。过滤器滤料泄漏处允许用专用胶水修补。