Leybold莱宝真空泵的主要特点:1. 莱宝真空泵浦从一大气压到终l极压力之间皆可运转使用2. 在低真空压下，莱宝真空泵浦仍可保持良好的抽气速度3. 莱宝真空PUMP低噪音、低震动。（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。4. LEYBOLD PUMP内置出口滤心，可达99.9%的油气过滤效果5. 超l强的排除水蒸气的功能6. 空气冷却，经济方便lt;也可选择水冷冷却gt;7. 进气口配置有止回阀，避免泵浦停止时，真空油会逆流8. 结构紧凑、体积小、节省空间
9. 非常容易***
分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。根据泵输送的介质，将公用工程使用的普通水泵、热水泵、凝水泵及废水处理系统的泵与输送药液、中间体、纯水、酸碱等工艺介质的泵区分开来。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点结构简单，制造精度要求不高，容易加工。结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。但泵的重l心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。
德国贝克(BECKER)真空泵类型：
1.油润滑旋片式真空泵
U4.20~U4.630
抽速： 18~638m3/h
真空度：0.5~3mbar
2.无油旋片式真空泵
VT4.4~VT4.40
KVT3.60~KVT3.140
VTLF200~VTLF500
抽速： 4~40m3/h
55~129m3/h
178~498m3/h
真空度：100~250mbar
3.无油旋片式压力/真空泵
T4.25DSK~T4.40DSK
DVT3.60~DVT3.140
抽速:25~137m3/h
真空泵压力：--正负600mbar
