分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，谱旭真空泵，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
莱宝真空泵SOGEVAC系列是单极油封式旋片泵。泵本身带有防返油阀、气镇阀（选配）、出口过滤器、回油线路和和油冷却回路。泵由直联法兰电机驱动。安装在泵体中的偏心转子）有三块叶片，它们把泵分成三个隔室，每个隔室的容积随转子的旋转周期性的变化。当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩大，将气体从进气口吸入，气体经过空气滤芯，打开的防返油阀进入腔泵。当转子进一步旋转，叶片从吸入口将泵腔部分分开。这部分泵腔容积减少，气体被压缩。气体在略高于大气压时经过排气阀从泵腔排出。
喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽作为工作介质的饿喷射真空泵
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