对于***室来讲，为了维持本身房间的洁净度，免受邻室的污染，须保持相对于邻室较高的空气压力，即相对于邻室维持一个正的静压差。而静压差的存在起到了在门、窗关闭的情况下，防止室外空气由缝隙进入洁净室。另外当门开启时，应有足够的气流向外流动，把人瞬时带进的污染空气降低到低程度。***室净化公司根据《空气洁净技术措施》中的规定，要防止缝隙渗透，一般两相邻房间应保持5Pa的压差，而对室外应保持15Pa的压差。对100级***室，按《洁净室施工验收规范》规定，其正压必须满足开门时，距门0.6米处洁净度不低的要求，即保证在开门瞬时开启时人所带进的气体不深入门口0.6米以外的地方。***室净化工程空气调节设计手册中规定，一般洁净室的工作区在离地0.8-1.5米处。
简单的方案就是采用自控的耐高温过滤器通风机。由外部房间进入的空气经过过滤通风机进入洁净室，并通过排风风管将空气排出。经空调器昀空气仅进入外部房间。该方案适用于允许空气循环的场合，可以排出多余的热量和湿气，并利用室外空气送入外部房间，调节微气候参数的方式，符合卫生规范的要求。
通过过滤通风机送风能保证洁净室的灵活性。能够改变整个净化工程或个别洁净区的洁净度级别，可以重新改变洁净室的布置而费用不多。所示为柔性模块式洁净室。
怎样维护好洁净室工程
在无尘车间中，由于静电的不良影响，会导致微粒污染，静电放电（ESD）以及设备故障等问题。现代的过滤技术可以防止绝大部分的外部粉尘进入洁净室。但是，在洁净室内部，粉尘依然会在工作人员，生产设备以及部分生产过程中产生。令人遗憾的是，通常这些粉尘源都会比较靠近产品。如果物体表面带了静电，由于静电吸引就会吸附在洁净室层流中传播的粉尘。亚微米级的尘粒会影响到高科技产品的质量，它们一旦被吸附，产品表面就很难清除。
静电放电也会产生电磁干扰（EMI）现象。这将会妨碍到产品设备（特别是基于微处理器的机器人技术）的正常工作。发生在某部分设备上的静电放电，也可能会影响到附近其他设备的运转，这样就很难找出问题出在什么地方。 一个的污染控制流程，必须将静电问题作为洁净室污染的一种类型，将其测量和处理纳入其中。
