根据加工方法的机理和特点，精密和超精密加工方法，可以分为去除加工、结合加工和变形加工三大类。
（1）去除加工。又称为分离加工，是从工件上去除一部分材料，传统的机械加工方法，如车削、铣削、磨削、研磨和抛光等，以及特种加工中的电火花加工、电解加工等，均属这种加工方法。
（2）结合加工。利用物理和化学方法，将不同材料结合(bonding)在一起。按结合的机理、方法、强弱等，它又分为附着、注入(injection)和连接(jointed)三种。
（3）变形加工。又称为流动加工，利用力、热、分子运动等手段，使工件产生变形，改变其尺寸、形状和性能。
制造业是国民经济的支柱产业，随着制造业的快速发展，尤其是***制造技术的出现，新工艺、新加工方法不断涌现。精密加工和超精密加工是***制造技术的重要支柱，也是提高制造技术水平的关键。当前，在制造自动化领域，进行了大量有关计算机辅助技术软件CAD、CAPP、CAM的开发，计算机集成制造技术CIM、生产模式（如精良生产、敏捷制造、虚拟制造等），以及清洁生产和绿色制造等研究，代表了当前制造技术的一个重要方面。但这绝非高新制造技术的全部，作为制造技术的主战场，仍然要靠精密加工和超精密加工技术。光学干涉显微镜测量技术，包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于F-P(Febry-Perot)标准的测量技术等。
