微孔加工。但是，电火花加工的速度极低，加工的成本比较高，用于加工小孔的电极铜工的电子束功率密度高，可加工高硬度、高强度、高韧性、高脆性、高熔点的金属材料和非金属材料，加工使用的功率密度大约为109W/cm2，能量可集聚成φ1μm以下的光斑，故可加工数微米的孔，孔的加工效率很高，这主要取决于被加工件的移动速度。能实现通过磁场或电场对电子束的强度、位置进行直接控制，便于实行自动化加工，主要用于园孔加工，也可用于加工异形孔、锥孔、窄缝等。该种工艺方法属于非接触加工，因此工件本身不受机械力作用，不产生宏观应力和变形。在真空状态下进行，特别适合于加工易氧化的材料或纯度要求高的单晶体、半导体等材料。
常规的或者是大家可以想象到的微孔加工的工艺有：冲压加工，冲压加工主要是针对孔径在1.0mm以上，材料厚度在0.5mm以下的产品，并且主要针对孔数比较少的工件，因为密集型的工件冲压模具是无法完成的。数控冲，数控冲是近几年比较流行的工艺，数控冲具有、成本低的优势，数控冲是需要更换相应的冲头即可操作，不需要模具。数控冲主要针对的是大孔径和低密度的工件，对于0.5mm以下的孔径工件数控冲基本就没有任何优势了。
微孔加工的辅助工艺有什么？
在工件的正面施加一个正向压力（例如吹气法），或是在工件的反面装一个低压仓，可有助于打孔过程中清除掉汽化材料并增加液相的排出。在脉冲结束以后，减弱熔化物不受控制地重新分布而造成对孔的尺寸及形状的影响，既改善了被加工孔的表面质量（如可使在孔的内壁上会由熔化金属产生的一层“再铸层”的厚度有效地的减少），并且可以防止金属蒸气凝聚在透镜上。
微孔加工利用液体厚膜或金属铝箔覆盖工件，能使孔的 锥度减小并防止液相飞溅。例如，石油可使孔的进出口处的熔化物积聚减少，硅树脂油可使孔的锥度降低。
为了及时防止熔化物积聚在孔里，可把汽化 温度低于被加工材料熔化温度的物质放到被加工工件的后面。目前使用的有石蜡、甘油、雪熔油等。
对于高反射率及透射率的工件加工前可作适当处理，例如，打毛或黑化，以增大对激光的吸收率。采用一些附加的工艺措施。
