掩模印刷法
当所需填充的通孔为100μm 或要求更高时, 用于标准通孔的掩模印刷设置是不够的。填充标准通孔典型的印刷设置是单次印刷, 中等速度( 10-20 mm/ s ) 和中等压力, 为了对100μm及以下的通孔进行高质量的填充, 需要进行多重印刷, 提高压力并改善其他设置。为了满足75-150μm 通孔无缺陷的填充, 还需对印刷浆料量进行校正, 根据通孔的尺寸改变模版孔的开口。如100μm 的通孔需要稍大的模版开口, 以使垂直方向的填充。该方法也改善了在印刷期间模版与瓷带间的对准情况。150μm 的通孔所需的模版开口稍有减小, 以消除浆料污点。
LTCC基板排胶与烧结
烧结的技术要点是控制烧结收缩率和基板的总体变化,控制两种材料的烧结收缩性能以免产生微观和宏观的缺陷,以及实现导体材料的作用和在烧结过程中去除粘结剂。普通LTCC 基板的烧结收缩主要是通过控制粉体的颗粒度、流延粘合剂的比例、热压叠片的压力、烧结曲线等手段实现。但一般LTCC 共烧体系沿X-Y 方向的收缩仍为12-16%,借助无压烧结或助压烧结等技术,可以获得沿X-Y 方向零收缩的材料。
实现零收缩的工艺有:自约束烧结,基板在自由共烧过程中呈现出自身***平面方向收缩的特性,该方法无需增设新设备,但材料系统,不能很好地满足制造不同性能产品的需要;压力辅助烧结,通过在Z 轴方向加压烧结,***X-Y 平面上的收缩;无压力辅助烧结,在叠层体材料间加入夹层(如在LTCC 烧结温度下不烧结的氧化铝),约束X 和Y 轴方向的移动,烧成后研磨掉上下面夹持用的氧化铝层;复合板共同压烧法,将生坯黏附于一金属板(如高机械强度的钼或钨等)进行烧结,以金属片的束缚作用降低生坯片X-Y 方向的收缩;陶瓷薄板与生坯片堆栈共同烧结法,陶瓷薄板作为基板的一部分,烧成后不必去除,也不存在***残留的隐忧。
5G频段数量的增加及天线有源化趋势对射频前端集成提出更高要求
由于5G相比4G将在更高频的频段C Band和毫米波上部署,而更高频率的信号就意味着更大的馈线损耗,因此,将天线与射频前端集成从而实现天线有源化就成为大势所趋,这一集成趋势在宏侧就体现为基于Massive MIMO的AAU,在室分侧就体现为由DAS向数字化室分的演进,在手机侧就体现为AiP(Antenna in Package)天线的诞生。