微孔加工。但是，电火花加工的速度极低，加工的成本比较高，用于加工小孔的电极铜工的电子束功率密度高，可加工高硬度、高强度、高韧性、高脆性、高熔点的金属材料和非金属材料，加工使用的功率密度大约为109W/cm2，能量可集聚成φ1μm以下的光斑，故可加工数微米的孔，孔的加工效率很高，这主要取决于被加工件的移动速度。能实现通过磁场或电场对电子束的强度、位置进行直接控制，便于实行自动化加工，主要用于园孔加工，也可用于加工异形孔、锥孔、窄缝等。该种工艺方法属于非接触加工，因此工件本身不受机械力作用，不产生宏观应力和变形。在真空状态下进行，特别适合于加工易氧化的材料或纯度要求高的单晶体、半导体等材料。
微孔加工零件是怎样的？
一、零件材料分析。该零件材料为DT4E，属于硬度较低、刚度较差的材料。DT4E材料在切削过程中有如下特点：材料质地较软、粘性较大；切削温度高；切屑不易折断，易粘结；刀具易磨损。
二、零件结构分析。此零件是液压阀中的重要的功能零件，孔系表面要有高的硬度、好的耐磨性、强的耐腐蚀性、高的表面质量，因此对零件的孔系表面进行镀镍处理。φ4.5H7、φ4.7H7尺寸为镀镍后尺寸，因要求表面镀镍层厚度为9～12μm，因此机械加工需保证孔的镀前尺寸φ4.5 mm、φ4.7 mm ，同时需保证孔系的形位公差要求（基准A为零件左端φ35s7外圆）。
φ4.7H7孔与φ4.5H7孔联接处要求R0.2mm，而两孔的单边差异只有0.1mm，这为微孔加工带来了难度，且一般刀具很难保证R要求。
不锈钢微孔加工的原理
不锈钢微孔加工普遍运用于电子、石化等行业，不锈钢微孔加工由折叠式微孔膜滤芯和不锈钢外筒组成，内装有单芯或多芯滤芯，滤器筒体采用快装卡箍或螺栓衔接，拆卸非常方便。不锈钢微孔过滤具有体积小，孔径均匀，过滤速度快，吸附量小，过滤面积大，不易腐蚀等特点。
不锈钢微孔加工有分精密加工和粗加工，精密加工的中心部件是由特殊的材料组成，而粗加工的滤芯是由微孔框和不锈钢钢丝网组成。不锈钢微孔加工在使用久之后，微孔会产生一些杂质，使加工效率下降，所以需求按时清除微孔内的杂质。
为此，它至少含有激光聚焦装置和观察瞄准装置两个部分。投影系统用来显示工件背面情况。工作台则由人工控制或采用数控装置控制，在三坐标方向移动，方便又准确地调整工件位置。工作台上加工区的台面一般用玻璃制成，因为不透光的金属台面会给检测带来不便，而且台面会在工件被打穿后遭受***。工作台上方的聚焦物镜下设有吸、吹气装置，以保持工作表面和聚焦物镜的清洁。
