洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间,其建造和使用方式可大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控。
在中国,洁净技术的起步和奠基阶段是六十年代初至七十年代末。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。1965 年,由中国建筑科学研究院空气调节研究所和蚌埠绝缘材料厂等单位研制完成带波纹隔板的空气过滤器通过鉴定,标志了我国洁净技术开始正式起步。同时,一此电子技术、精密机械和工业相关的设计院,也在探索、研究洁净室的工程设计。
洁净厂房 也叫无尘车间、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
装配式洁净厂房系统主要由初,中,高三级空气过滤的空调送风回风和 排风系统;动力及照明系统;工作环境参数的监测报警消防和通讯系统;人员流动和物流系统;工艺管路系统;维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成,形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。