




光阑
对通过光学系统的光束起限制作用的光学元件。它可是光学元件(透镜、反射镜等)本身的边框,也可是另外设置的带孔不透明屏。光阑中心通常在光轴上,且与光轴垂直。
光学系统的各个光学零件都由各自的镜框限定其通光孔,绝大多数情况下是圆孔。有时还在系统中加入固定的或可变的专设光孔。在所有这些光孔中,一定有一个光孔起着限制轴上点成像光束孔径角的作用;另外有一个光孔起着限制成像范围的作用。这样的光孔称为光阑:前者称孔径光阑或有效光阑;后者称视场光阑。任何光学系统必定存在这样二个光阑。
渐晕现象
在理想情况下,轴上点和轴外点的光束都受孔径光阑的限制,有基本相同的光束孔径角,如果视场不太大,整个视场的像面照度基本均匀。然而在实际光学系统中,轴外点成像光束往往受其他光学零件通光孔的限制,结果是轴外点的光束孔径角比轴上点的小得多。这是因为要使轴外点也以充满入射光瞳的光束成像时,那些远离孔径光阑的透镜需要有相当大的直径,并且对全孔径轴外光束校正好像差也非常困难。因此,为了改善轴外点的成像质量、也为了光学零件的横向尺寸不特别大,常用适当减小某几个透镜直径的方法来对轴外光束作必要的限制。这种轴外点发出充满入射光瞳的光束被某些光学零件部分拦截而不能全部通过光学系统的现象,称为光束渐晕。轴外点离光轴越远,拦截现象(即渐晕)越严重,结果是视场外围的像面照度大大降低。当然,绝大部分光学系统都允许存在一定程度的渐晕。
在空间光学领域利用光学设备对空间和地球进行观测与研究,包括空间天文观测、深空探测和对地探测等,激光具有单色性好、方向性强、亮度高等特点,其在军事领域的前沿应用包括激光制导技术、激光通信技术、***激光等。极紫外光刻是传统投影光刻技术向更短波长的延伸,被认为是潜力的下一代光刻技术。光学系统是极紫外光刻技术的功能部件之一,