（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，燃气管道氮气置换方案，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。
（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，长输管道氮气置换，NF3，管道氮气置换，CH 3F等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl，管道氮气置换， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。
（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。
（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。
氮气置换法处理停共装置存留液化气
液化气
主要成分由丙烷（C3H8）、丁烷
（***H10）组成，部分中还会含有
（C3H6）以及丁烯（***H8）成分，因此液化石you
气也俗称为 C3、***。
LPG 常压下为气态，本身无色无味，具有气
体性质，经过加压和降温处理后可成为液态，密
度相应增大。LPG 闪点为 -74 ℃，引燃温度为
426~537 ℃，极限在 5％ ~9.65％。LPG 的热
值较大，燃烧温度可高达 1 900 ℃。
LPG 体积膨张系数大约是同温度下水体积膨
胀系数的 10~6 倍，随着温度的升高，LPG 液态
体积会不断的膨胀，气态压力也会不断增加，温
度每升高 l ℃，体积膨胀约为 0.3%~0.4%，气压
增加约 0.2~0.3 MPa。
LPG ，比、柴油等有更大的火
灾***性。LPG 液态时的比重比水轻，气态
时的比重为空气的 1.56 倍。由于 LPG 比空气重，
因此，LPG 从管道或容器中泄漏出来时，会像水
一样往地面低洼处流动和聚集，很容易达到的爆
扎浓度，在遇到静电或火花时非常容易引起火灾
事故。
氮气在液化气中的溶解性
氮气难溶于水，在常温常压下，1 体积水中
约溶解 0.02 体积的氮气。氮气是难液化气体，在
液化气中的溶解度比较低，但是无明确的氮气在
液化气中的溶解度数据。
液化气的气化
LPG 的气液态体积比值大，液态的 LPG 挥发
性较强，在液态 LPG 挥发成气体时，其体积能够
迅速扩大 250~300 倍，因此极易引起设备超压。
输油管道中遇到的流态一般为：热含蜡管道 工作在水力光滑区；较轻的成品油管道工作在混合摩 擦 区 ；高黏油和燃料油管 道工作在层流长输管道 一 般很少工作在粗糙 区。 考虑 到如 果氮气 压力过 高，则相应 的氮气 成本和 放空时 间均 会增加，而且氮 气压力越高 ，作业风 险也越 大 。因此 ，在选 择该工 艺时 需要根据 管道工 艺高程差 综合 考虑 作业 的经济性 ，建议在注氮 点与 回油翻越 点 高程 差小于 2801TI的管道上选择该工艺处置方式 。氮气用量 的计算公式为 ： (4) 式 中： 为氮气充满的管容，ms；P 为注入的氮气压 力 ，kPa；P，为常压，101．325kPa。 每吨液 氮转 化为 1个 标准 大气 压、5℃下 的体积 理论上是 808m3，实际操作 中一般取 650m3，根据氮气 用量计算需要液氮的量。 综 上，推 动清 管器 所 需 的压 力越 大，氮 气 用量 越 大 ，在 实际应 用 中要考 虑 注氮压 力 、管道 允许 停输 时 间、排气时间以及氮气用量等经济因素，如果氮气用量 过大 ，则考虑使用其他方法 2 清管器选型与运行控制 2．1 清管器选型 清 管器是利 用流体 压力推动 穿过 管道达 到清管 、 测 量、探 测 或其 他 目的 的设备 (图 1) 。氮气 推 动清 管器回油时利用清管器的隔离功能 ，控制管 内液体 ，减少液体 积存 ，置换管道 内的油 品，因此选择合适 的清管 器对 回油是 否成功起 着关键 性作用 。 由于不同管道的工艺条件不 同，需要考虑以下因 素 ：清 管器 密封 良好 ，耐摩 擦 ；如 果采用 反推 清管 器方 式 ，则必须使用可在 管道 内双向运 行的直板清管器 。 2．1．1 清管器类型 根据 回油 方式 的不 同，选用 双 向直板清 管器或 蝶 形清管器 。
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