电容式位移传感器的特点优势
高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小，输入能量也很低。电容式传感器因带电极板间静电引力小(约几个10-5N)，因此所需输入能量小，所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏,分辨力非常髙，能感受0.001μm甚至更小的位移。位移激光传感器的使用工序需要购买者仔细参考相关规章定进行操纵，使用位移激光传感器的效果能够进步工厂设备的精度和准度，在购买者进行分析调整时需要留意了解位移激光传感器的长处。
温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料， 又因本身发热小，对稳定性影响甚微。
结构简单，适应性强，待测体是导体或半导体均可,可在恶劣环境中工作。电容式传感器结构简单,易于制造,可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，也能对带有磁性的工件进行测量。
电容式测量原理特性：采用电容式测量原理，需要洁净和干燥的环境，否则传感器探头和被测物体之间的物质介电常数的变化会影响测量结果。我们也推荐任何时候，都尽量缩短探头到控制器之间的电缆长度。对于标准设备，配备前置放大器，电缆长度设定为1m， （根据不同的模块选择，能到3m）。电容传感器是一种通过简单的机械结构就能实现低功耗、良好的动态性能以及非接触式测量等特点的传感器。如果配备外置放大器，探头到控制器之间的电缆长度可以达到20m。
电容位移传感器一般用于需要很高的精度的应用环境。他们被用于测量振动，振荡，膨胀，位移，挠度和形变等等测量任务。因此，电容式位移传感器经常被用作质量保证。
新型的电容位移，分辨率可以达到纳米级别。源于的温度稳定性，在剧烈的温度波动情况下，电容式传感器是理想的选择。
变面积型电容传感器
被测量变化导致动极板移动，引起两极板间有效覆盖面积S的变化，从而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿着长度方向平移Δx时，其电容变化量化为
式中，C0=ε0εrba/d,为初始电容；a为极板长度；b为极板宽度；Δx为极板水平位移。可见ΔC与Δx间成线性关系。
当动极板有一个角位移θ时，与定极板间有效覆盖面积发生变化，从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时有
式中，εr为介质相对介电常数；d0为两极板间的距离；S0为两极板间初始覆盖面积。
当θ=0时
传感器电容量C与角位移θ间成线性关系。
左侧隔离膜片比右侧隔离膜片更清晰。在这张照片中清晰可见的一个特征是左侧隔离膜片与内部金属框架之间的间隙较小，而传感膜片所在的宽敞腔室则较小。
回想一下，这些内部空间通常由填充流体占据，其目的是将压力从隔离膜传递到传感膜片。如前所述，实心金属框架限制了每个隔离膜片的行程，使得高压隔离膜片在传感膜片被推过其弹性极限之前在金属框架上“底部”。通过这种方式，可以保护传感膜片免受过压损坏，因为隔离膜片根本不允许再移动得更远。磁致伸缩位移传感器，是利用磁致伸缩原理、通过两个不同磁场相交产生一个应变脉冲信号来准确地测量位置的。
