3、可供舒适的气流
***室中空气采样设内、中、外对角线3点,内、外布点部位置距墙面1m,位于出风口下;术中空气采样选择***的床4角,距***的床30 cm处。定期检测系统功能状态,检测***室空气洁净度指标,可供舒适的气流(室内温度可在15-25℃,湿度可在50-65之间调节)。
4、低***数及低气体浓度
***室空气净化系统在***室墙面四角、净化机组、天花板、走廊、新风机、排风机都设有不同级别的过滤器,并对其进行定期清洁、维修和更换,严格保证室内空气的无菌;使***室保持低***数气体浓度。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的1级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于1级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
洁净室状态有以下三个:
空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态洁净室:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。