低压化学气相沉积加工过程中的常见故障排除
低压化学气相沉积加工工艺流程比较长、工序繁多，发生故障的影响因素会很多。如低压化学气相沉积前处理不净、清洗不良、电解液成分失调及杂质污染、生产环境不良等。PVD镀膜而故障的原因往往存在于以上各影响因素的一两个细节之中。
低压化学气相沉积加工在影响产品质量的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)中，人是位的。低压化学气相沉积故障的发生都与操作工***技能和工作责任心有关。低压化学气相沉积生产管理人员对操作工指导和监督不力，这些在PVD镀膜企业较普遍存在的状况,低压化学气相沉积使得故障在所难免。但水电镀有个缺陷，只能镀ABS料和ABS PC料(此料镀的效果也不是很理想)。要减少低压化学气相沉积生产故障，提高低压化学气相沉积从业人员的***技能和工作责任心是十分重要的。
Parylene在电子产品领域的优点:
恶劣环境下线路板保护涂层，列入美军标MIL-I-46058C；满足IPC-CC-830B
涂敷过程中不存在任何液态，无普通液体防护涂层的难以避免的流挂，气孔、厚薄不均等严重缺陷；
*水分子透过率极低，仅为常见的有机硅树脂的千分之一；
*聚合生长的成膜方式阻止了离子在涂层和基板界面的扩散，消除了常见的涂层下枝状腐蚀。
*表面憎水特性进一步降低潮湿和离子污染的不利影响；
*渗入芯片与基板间的微细间隙（甚至达10μm），提供完整的保护；
*大幅增强芯片-基板间导线（25μm粗细）的连接强度；
? 微电子、半导体：使用高纯的Parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。
?传感器和换能器：自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器， Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性，涂层无，且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种恶劣环境。
?Parylene适用于微机电(MEMS)、半导体领域之优点
*能进行微米级微细制作和加工；
*与其它微细结构材料有很好的相容性；
* 在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能；
*对微电子机械系统的使用环境有很好的相容性和防护性
