




爱德华真空泵油 详细介绍
英国Edwa***爱德华真空泵新型油Ultragrade 15、19、20 和 70,均采用新制程生产。大多数真空泵油制造商都采用溶剂精炼制程,而Edwa***爱德华真空泵油采用独特的氢化制程生产。这一制程不会产生氮、硫、氧和芳香烃类,因此可得到无任何杂质的清洁基料。
加入添加剂后,Ultragrade? 油可改善真空性能、热稳定性和氧化稳定性,不易生锈。油中的抗l氧化剂可让泵承受较高的工作温度而不会造成油的退化,从而延长换油的时间间隔。
Edwa***爱德华真空泵油除了要具有一般润滑油的润滑,冷却,抗l氧化,油水分离等特点外,另外在低压状态下,轻质组分要比常规的油品少很多。
关于爱发科真空泵油的工作原理说明
无油干式机械爱发科真空泵油(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用爱发科真空泵油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器;其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻l底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。
爱发科真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医l药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有l机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

真空泵油的主要性能
真空泵油, 极限总压强和的极限分压力
极限的总压力:皮拉尼真空计和热电偶真空计测量所有材料真空泵(气)总压强。目前,测试强调总压强指数。
极限的分压力:水星压缩真空计(麦克劳德压力计)限制空气测量泵压力,双旋转叶片泵压力应小于6 * 10-5kPa。总压强之间的区别和极限压力不超过一个数量级。两者之间的差异越大,真空泵油含有更多的挥发性成分,油的性质就越低。
