燃气管道氮气置换氧含量-念龙化工(在线咨询)-管道氮气置换

***气体的特别事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种***气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的***气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，燃气管道氮气置换氧含量，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有***体的泄漏，管道氮气置换，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有***体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对***危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，管道氮气置换方案，同时会驱动***控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
{管道氮气置换}流程2

管道氮气置换前应由施工单位、监理单位、建设单位和生产部门联合检查确认现场置换条件

当氮气所填充管段内压力达到规定压力，经测氧仪检测末端出口氧气浓度含量应小于规定值，并且连续3次(每次间隔5分钟)达到此值，注氮作业合格予以验收。

验收合格后，如果不立即引入，长输管道氮气置换，应对置换管段进行密封保存。填写并完善管道氮气置换记录。

氮气置换液化气流程

为了废碱性水的问题，在 2013 年

过程中，通过外引高压氮气（2.5 MPa）对

液化气脱硫醇系统内部液化气进行置换处理。根

据液化气脱硫醇装置的工艺流程，通过添加临时

线变通，从液化气脱硫醇各设备顶部充压，底

部引出退料，退料液化气全部转入液化气缓冲罐

D-501，然后使用液化气 P-501 转进液化气罐区，

避免氮气进入液化气罐区，对罐区造成冲击。工

艺流程见图 1。因氮气密度比液态液化气轻，因

此临时配管退液化气线必须从各塔、罐底部引

出。

退液化气脱硫醇系统中液化气的基本步骤

为：

1）高压（2.5 MPa）氮气经 P-504 出口沿催

化剂碱线进 C-501 塔顶，实现脱硫醇装置液化气

系统充压。

2）C-501 充压至 1.2 MPa，氮气沿正序流程

*** E-503，后进水洗罐 D-503、沉降罐 D-504，

通过各设备底部临时管线，依次退净 E-503、

D-503、D-504 内液化气至缓冲罐 D-501。 3）C-501 退料通过催化剂碱液线转进 D-501，

C-501 退碱时，应保证碱液退净，液化气退料线

上进下出，通过现场玻璃板以及现场流量计变化

情况判定是否压净。

4）D-502 充压：从 C-501 入口线经 E-502 倒

转进罐，尽量将管线内液化气置换干净，通过罐

底退水线转进 D-501，实现氮气上进下出，通过

现场玻璃板判定液化气是否压净。

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