什么是流量控制器？
质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）, 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器的性能特点可按设计或实际要求设定流量，能自动消除系统的压差波动，保持流量不变。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
流量控制器的原理是什么？
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图1。质量流量计如何工作的热式气体质量流量计件由两个插入流体管道中的圆柱形探头构成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。
流量控制器的特点
地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
适用范围宽
有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～100% 量程比为-- 50:1， 因此在很多领域得到广泛应用。
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