从20世纪50年代至70年代，栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅，这5种测量系统都是将一个栅距周期内的测量和周期外的增量式测量结合起来，测量单位不是像激光一样的光波波长，而是通用的米制(或英制)标尺。它们有各自的优点，相互补充，在竞争中都得到了发展。但光栅测量系统的综合技术性能优于其它4种，而且其制造费用又比感应同步器、磁栅、球栅低，因此光栅发展***快，技术性能很很高场占有率较高，产业很大。在栅式测量系统中，光栅的占有率已超过80%，光栅长度测量系统的分辨率已覆盖微米级、亚微米级和纳米级；测量速度从60m/min至480m/min。测量长度从1m、3m至30m和100m。
在线在机测量技术成为大批量生产时保证加工质量的重要手段。计量型仪器进入生产现场、融入生产线，监控生产过程。仪器本身的可靠性、有效率、高精度以及质量统计功能、故障诊断功能进一步提高，满足了在线测量的要求。高精度数字化传感器的测量精度已实现从微米级向纳米级的提升；数字化测量仪器与机床集成进入生产现场，组成数字化加工系统：数控集成误差、工件毛坯安装误差及其环境误差的软件补偿技术得到进一步推广应用；非接触式扫描、视频测量技术和仪器备受重视；测量信息的无线传输和网络远程服务，进一步将被动型质量检测转换为主动型质量控制。美国Brownamp;Sharp公司的Br***o-NT 测量机可在汽车生产线上对车身尺寸实施在线测量并充分满足汽车生产线对测量节拍、测量精度和测量可靠性的要求；德国Kapp公司磨齿机的机载齿轮测量装置将测量系统和机床集成一体，可在工件试磨后马上进行在机检测，测量信息处理后能反馈至机床，及时修正加工参数。特别有利于大型、重型齿轮和大批量齿轮的成形磨削加工。
善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于 2015年 7 月份成立，公司注册资本 500 万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器******实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的***和工程师共同创立，***从事***传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。
纳米分辨率激光干涉测量系统在超精测量和超精加工机床上得到实际应用。英国Renishaw公司生产的***M10激光干涉测量系统，配备了灵敏度和精度更高的温度、气压、湿度传感器和*** EC10环境补偿装置，提高了测量精度，其稳频精度可达0.05×10-6，线性测量精度0.7×10-6，分辨率可达1nm；德国SIOS的小型激光干涉仪系列产品，有微型平面干涉仪、激光干涉测头等，可以和用户多种测量系统结合，特别适用于完成各种小尺寸范围的纳米测量任务。