




(4) 扩散喷射泵:它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。(5) 离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输泵。
(1)蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。水环泵也有其缺点:效率低,一般在30%左右,较好的可达50%。(2)溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上,以实现抽气目的的一种真空泵。低温泵:利用低温表面捕集气体的真空泵
水环泵也有其缺点:效率低,一般在30%左右,较好的可达50%。真空度低,这不仅是因为受到结构上的限制,更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液,极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液,可达130Pa。为达到很好的配置,选择真空系统时,应考虑下述各点:首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。总之,由于水环泵中气体压缩是等温的,故可以抽除易着火、易暴的气体。由于没有排气阀及摩擦表面,故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特点,尽管它效率低,仍然得到了广泛的应用。
罗茨泵的工作原理及其结构特点
罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵腔内有两个形状对称的转子,转子形状有两叶、三叶和四叶的。基于以上概述,所以说国内真***装技术势必会带动旋片式真空泵的热销的。两个转子彼此朝相反方向旋转,由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触,转子与泵腔壁也无接触,其间通常有0.15~1.0mm的间隙,泵腔靠间隙来密封。
由于罗茨泵泵腔内无摩擦,转子可高速运转,一般为1500~3000r/min,而且不必用润滑油,可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位仅l限于轴承和齿轮,以及动密封处。根据对罗茨泵的特殊需要,也有将油的齿轮箱,轴承等部件与泵腔做成分离式结构的。泵没有往复运动部件,故可实现良好的动平衡。因而,罗茨泵运转平稳,转速高,尺寸小可获得大的抽速。

目前国内外的罗茨泵,多数为卧式结构,泵的进气口在上,排气口在下,这种卧式结构重l心低,高速运转时稳定性好。罗茨泵的两个转子是通过一对高l精度的齿轮来实现其相对同步旋转的。
泵的传动多为直联式的,大泵则有皮带传动的。电动机与传动齿轮,多设在转子轴的两侧,安装拆卸方便。罗茨泵的两个转子是通过一对高l精度的齿轮来实现其相对同步旋转的。主动轴传递的扭矩较大,轴要有足够的强度和刚度,轴与转子要固结牢靠。罗茨泵的密封很关键,主动轴外伸部分、两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封,泵腔与各端盖设有静密封。