纯度: >99.999% 
Isotopic  Enrichment  >99.8%
| 杂质 |  | 规格 | 
| O2 | Oxygen 氧气 | 1ppm | 
| CO2 | Carbon Dioxide 二氧化碳 | 0.5ppm | 
| H2O | Nitrous Oxide氧化亚氮 | 1.0ppm | 
| Ar | Argon***气 | 0.1ppm | 
| N2 | Nitrogen 氮气 | 0.5ppm | 

