微孔加工的剖分加工有两种方法：一种是微小孔加工后再剖切，另一种是在紧密结合的两块光滑平板上沿结合缝打孔。由于孔径微小，加工后剖切应属薄板切割。此时为取得较高切割精度应使用激光切割。但由于切割光斑直径较大(如薄板厚为5mm、要求切割速度为1.5m/min时，光斑直径为0.2mm[6])，与所加工的微小孔直径接近，切割后所剩余的微小孔内表面太小，难以进行粗糙度测量；同时，为了保护微小孔内壁在剖切时不受飞溅物的影响，通常在剖切前向微小孔内先注入蜡等物质以保护孔内壁，但此时保护物对微小孔内壁粗糙度测量结果的影响无法评估，因此采用这种剖切加工工艺时需非常慎重，以避免测量的困难。
0.03mm微孔加工的这些微型小孔只有在高倍显微镜下才能看到，许多微小型钻孔的决定因素也类似于标准尺寸的钻削加工。每当对一项新任务进行评估时，豪仁精密五金公司首先必须确定为有效的孔加工方法。这很大程度上还得根据加工零件种类、内孔直径、几何形状、尺寸精度要求和深度、加工零件的批量大小，以及原来采用的加工方法等。装有显微镜的手控机床经常被用于科研项目、小批量生产或只需要数的0.03mm微孔加工。一些致力于微孔加工机床开发的制造商，大多提供是手控式机床，这一加工方法要追溯到上世纪的三十年代。其它的尽管已经用CNC工作台加以改造，但仍然保持着用手工控制钻头的进给，手动进给这样的微小直径钻头，需要熟练的工人进行手工感觉。
为此，它至少含有激光聚焦装置和观察瞄准装置两个部分。投影系统用来显示工件背面情况。工作台则由人工控制或采用数控装置控制，在三坐标方向移动，方便又准确地调整工件位置。工作台上加工区的台面一般用玻璃制成，因为不透光的金属台面会给检测带来不便，而且台面会在工件被打穿后遭受***。工作台上方的聚焦物镜下设有吸、吹气装置，以保持工作表面和聚焦物镜的清洁。
