机械冲孔形成的微通孔
机械冲孔形成的微通孔冲孔形成的微通孔孔径和孔距的一致性较好, 顶部边缘比较平滑, 但底部边缘较粗糙, 内壁比较平直, 顶部和底部开口大小相接近。不同厚度的LTCC 瓷带所制作的微通孔大小也是一致的, 即瓷带厚度与通孔大小的比率对通孔质量不会有影响。使用机械冲孔的方法, 在厚度为50-254μm的不同LTCC 瓷带上形成的50, 75 和100μm 的微通孔表明, 不同尺寸的微通孔在LTCC 瓷带正面和背面的开口直径大小都在测量误差允许的范围之内, 但是在瓷带背面通孔开口的偏差更大。在显微镜下检查冲孔后冲模开口的变化,比原来的开口尺寸都有所增加, 这是冲模开口的磨损引起的。不同微通孔的分析数据表明, 冲头的尺寸决定了通孔正面的开口大小, 背面通孔直径受冲模开口大小的影响。
微电子器件试验方法和程序:
将基板垂直浸入,放在(215±5)℃熔融焊料的锡槽中,每次58,总计10次(焊料成分为63Sn37Pb的共晶焊料,焊剂为25%的松香酒精溶液)清洗,涂焊剂,被检图形应无翘皮、脱落、断裂、被熔蚀的面积不大于20%。上述3种试样均能通过耐焊性的试验检测标准,且未见被熔蚀的地方,随后将上述3种试样(新的试样)金属化层表面上放置涂有焊剂的焊片,在氮气保护下,240℃(设置值)的热台上加热保持,观察焊料对相应试样金属化层表面的熔蚀情况。
与其它集成技术相比,LTCC 有着众多优点:
可以制作层数很高的电路基板,并可将多个无源元件埋入其中,免除了封装组件的成本,在层数很高的三维电路基板上,实现无源和有源的集成,有利于提高电路的组装密度,进一步减小体积和重量;
与其他多层布线技术具有良好的兼容性,例如将LTCC与薄膜布线技术结合可实现更高组装密度和更好性能的混合多层基板和混合型多芯片组件;