真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。⑹正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
气体捕集泵这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。它有如下几种型式。
阿尔卡特干泵ADP/ADS系列
ADP/ADS系列2产品的四种型号可满足不同真空要求，环境清洁的工艺应用可选择LM型，轻型或中型应用要求可选择P型，H型可供苛刻要求的工艺环境选择。许多来自半导体工业的主要制造商已经选择这一产品，这一选择使他们大大缩短了计划外停l工期，从而节约了运行成本，提高了利润率。动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
特点：
处理能力可靠性高宽交叉槽可容纳大量粉尘和颗粒精l确而闭合的温控系统、高操作温度以及从进口到出口的气体温度的线性增长各级采取立式抽吸防止吹扫腔中粉尘聚集
旋片真空泵使用方法
使用方法1、使用前，应仔细阅读产品使用说明书，开箱后应检查装运质量。收好备品备件和技术文件，拆除排气品防护件。按要求安装，接线，试转向。水泠泵接水。2、为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中心以上，但不要满油标，多了要放出。3、判断转向的辅助方法。把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。产品用途：由於Leybold莱宝真空泵SOGEVAC系列莱宝真空泵浦在从1000mbar的一大气压到0。声音正常是正向，声音异常是反向。4、如在泵口配装带充气电磁阀，一般应横装，并与泵同时动作。5、相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使用气镇阀。
