本仪器是一套使用积分半球对薄膜状样品或粉状物样品进行量子效率测试的系统。
产品特点非接触式、不***样品的光干涉式膜厚计。、高再现性量测紫外到近红外波长反射率光谱，分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)。宽阔的波长量测范围。(190nm~1100nm)薄膜到厚膜的膜厚量测范围。(1nm~250μm)对应显微镜下的微距量测口径。
FE3000反射式膜厚量测仪：原理为：利用单色仪和氙灯的组合可实现任意波段的激发光并以此来照射荧光材料样品，再以光谱仪对产生的发光光谱进行测试并对其荧光材料特性做出评价。本系统采用了具有高灵敏度、高稳定的本公司的光谱仪对光谱进行测量。
应用范围■ FPD
?LCD、TFT、OLED(有机EL)
■ 半导体、复合半导体
?矽半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料
■ 资料储存
?DVD、磁头薄膜、磁性材料
■ 光学材料
?滤光片、抗反射膜
■ 平面显示器
?液晶显示器、薄膜电晶体、OLED
■ 薄膜
?AR膜
■ 其它
?建筑用材料
FE3000反射式膜厚量测仪特点：宽阔的波长量测范围。(190nm~1100nm)薄膜到厚膜的膜厚量测范围。(1nm~250μm)对应显微镜下的微距量测口径。不锈钢样品池及石英材质光学窗口，光学透过率大于98%，全波段无荧光反应，用于固体、粉末及薄膜样品测试（数量5个），尺寸直径≤10mm
荧光材料样品所反射的激发光，在积分球内壁上反射，并再次照射到荧光材料样品上，发出荧光的现象叫做再激发。为了修正这个荧光发光的成份，如图所示，改变Xe激发光（投光用光纤）的角度，将激发光的照射点改为样品口的硫i酸钡（或Spectralon）一面来进行测试。这样可以将对积分球内壁上漫反射引起的再激发荧光成份进行测试，实行修正。
