超纯水设备采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
①预处理
1、 传统工艺由机械过滤器、活性炭过滤器和保安过滤器组成。
2、 工艺由机械过滤器、保安过滤器和超滤组成。
②反渗透系统
1、 由高压泵和反渗透组成
2、 可分为一级反渗透和二级反渗透
③ 精处理系统
1、 离子交换和微孔过滤器组成
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纯水设备，它采用的是主要是反渗透膜技术。它的工作原理是对水施加一定的压力，使水分子和离子态的矿物质元素通过反渗透膜，而溶解在水中的绝大部分无机盐(包括***)、有机物以及病毒等无法透过反渗透膜，从而使渗透过的纯净水和无法渗透过的浓缩水严格的分开;反渗透膜上的孔径只有0.0001微米，而病毒的直径一般有0.02-0.4微米，普通的直径有0.4-1微米。
EDI技术是一种具有革命性意义的水处理技术，将电渗析与离子交换有机地结合在一起的连续去盐工艺，属高科技绿色环保技术。EDI净水设备具有连续出水、无需酸碱再生和无人值守等优点，已在制备纯水的系统中逐步取代混床作为精处理设备使用。
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