Cube-200型是驰奔仪器第二代钨丝枪系列之微型扫描电镜。
Cube-200型扫描电镜是全数字化控制,专业级电子显微成像分析仪器
配置有三级电磁透镜,大变焦范围,长工作距离,多孔径光阑,轻松获得材料表面媲美大型扫描电镜的高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图;拓展简单易用台式电镜专用X射线能谱仪(EDS),能快速获得微米亚微米范围微小区域化学元素定性定量结果;在工作条件固定模式下,Cube-200也是一款高效率的成像检测设备。
硬件特征:
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全数字控制,专业级电子显微成像仪器;
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标配SE探测器,选配BSE探测器 ;
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可选样品仓低真空环境功能,直接测试非导电样品;
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可选内置一体化简单易用EDS;
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XYZ三轴大行程自动样品台,可选RT轴自动控制(降低Z轴行程);
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多重弹簧橡胶隔振减振系统;
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主机设计紧凑,系统高度集成,良好散热及电磁兼容性能;
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轻质合金外壳,数字加工成型,具有良好电磁屏蔽功能。
多样品工位计算机导航马达驱动样品台
高档轻质合金外壳,数字加工成型,做工精良,具有良好散热和电磁屏蔽功能。
完全内置电制冷能谱探测器,拓展简易EDS,无需专业培训即可获得良好效果
主机尺寸/重量:410X440X520mm 65kg
软件特征:
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用户友好:包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制;
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特殊样品:动态聚焦(DF)、倾斜补偿;
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高效拍照:自动照相(Auto Imaging); 大图拼接:连续视野照片缝合;
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信号探测:支持SE、BSE、STEM同时;
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鼠标键盘操作,简易快捷。
性能指标:
型号 |
Cube-200 专业入门级台式扫描电镜 |
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样品台 |
XYZ三轴自动,RT手动 -Y: 45mm (自动) |
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电子枪 |
预对中钨灯丝,三极自动偏压,偏压与加速电压关联 |
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加速电压 |
200V-30KV ,数字化高压电源,连续可调 |
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探测器 |
E-T型 SE detector, |
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物镜光阑 |
四孔位可变光阑,20~100μm |
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分辨率 |
5nm @30KV SE Image 8nm@30KV BSE Image |
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放大倍数 |
20x-300,000 x |
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样品室 |
Se、Bse、EDS探测器接口, 4个其他接口 |
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最大样品尺寸 |
Φ90mm x 45mm(H) |
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工作距离 |
0-48mm |
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扫描光栅运动 |
电位移 ±50μm, 电旋转 0-360° |
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视频显示模式 |
聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变 TV模式:800x 600像素 慢扫描模式:用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、最大3200x2400像素 |
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高级扫描 |
动态聚焦,倾斜补偿 |
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图像格式 |
JPG、TIFF、bmp、PNG |
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真空系统 |
全自动真空系统,真空高压连锁安全保护 -涡轮分子泵 -旋片式机械真空泵 -电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等 -高真空优于7.5x10-3Pa (从大气到达高真空小于3分钟) -低真空模式 10-230Pa (选配) |
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自动功能 |
亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,自动照相存储 |
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软件系统 |
基于Win10,Virtuoso专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。100%鼠标键盘操作。 |
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主机尺寸/重量 |
410(W)x440(D)x 520(H)mm /65kg |
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电源 |
单相交流 220V 、50Hz、1KW |
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耗材附件 |
预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,专用工具 |