概述
先进材料在微纳米尺度物理缺陷和化学成分差异将对宏观性能产生重大影响，材料科技工作者需要从微纳米尺度掌握材料物理缺陷形成、成分差异演变、晶体结构组成的一般规律。针对这样的课题，使用扫描电镜（SEM）平台配套EDS/WDS/EBSD观察分析是***科学的解决方案。
EDS作为SEM***常用的分析附件，使用Si半导体晶体对元素特征X射线展谱，自1970年代商品化以来，技术性能不断进步，当前技术，可在分秒间对微纳米尺度成分差异做出准确判断。分析报告包括材料微观图像和不同微观区域化学成分，全元素构成，元素百分比以及测量方差。
WDS作为***早配合电子束探测材料微区元素组成的X射线分光仪器，特征X射线能量分辨率5-10电子伏，对微量成分定性定量精度比EDS提高一个数量级，目前在半导体，电子材料，地质矿物和特殊合金研究中广泛使用，但波谱分析逐个元素进行定量，比较耗时，对电子束束流稳定性提出更高要求。
EBSD，采用高能背散射电子，对样品剖面做晶体衍射，从而获得微区晶体结构，取向，分布定性定量结果。在金属、陶瓷和地质学分析显微结构及织构中使用越来越广泛。
【驰奔仪器】系列钨灯丝扫描电子显微分析平台
驰奔仪器第二代钨丝枪系列扫描电镜，均采用专业级电子显微成像技术，专业设计电子显微分析附件探测器接口，优化探测器几何探测效率，是优良的扫描电子显微分析平台。
Cube-200桌面台式电镜，可拓展简单易用的台式电镜专用能谱仪（EDS） ；
Genesis-I型分析电镜，可拓展专业级X-ray能谱仪，定量更***；
Genesis-II型分析电镜，可拓展专业EDS、WDS、EBSD装置、CL等多种电子显微分析附件。
Veritas-300型分析电镜，具有大型样品观察分析仓，可装备更多电子显微分析附件和微操作样品台。
OXFORD INSTRUMENT 牛津仪器电子显微分析装置 （EDS/WDS/EBSD）
电子背散射衍射装置EBSD：
对材料中的相鉴定，晶体取向分布进行研究的装置。晶格散射入射电子，其中背散射电子大部分保持良好相干性（波长相近），形成衍射花样照射在荧光屏上，荧光屏后的高速数字相机及时抓取获得数字化衍射花样图像，经过对花样分析获得该处像素的晶体结构和取向数据。
一副电镜图像的所有像素，逐个采集花样，形成面分布。需要相当长采集时间。
Genesis-II中型扫描电镜和Veritas大型扫描电镜，可支持安装EBSD.
NordlysNano EBSD探测器以高空间分辨率及角分辨率著称。更加适合纳米尺度特征的检测：对菊池花样的细微变化更加灵敏，实现***小的光学畸变及***佳的分辨率。
综述
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有效区分晶格参数非常接近的晶体
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CCD***高分辨率达到1344 x 1024
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0.5nA的束流下进行正常数据采集
AZtec EBSD系统集 AZtecHKL采集、分析软件以及Nordlys EBSD探测器于一体，实现******的EBSD分析。
是显微结构表征的有力工具，它可以检测：
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晶体取向
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晶粒尺寸
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织构
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再结晶/变形分布
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亚结构分析
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应变分析
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晶界特性
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CSL边界分布
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滑移系统分析
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相鉴定，分布及相变
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断裂分析...
AZtecHKL是目前***强大***灵活的EBSD系统，***改观EBSD数据采集的新思路。无论初学者或EBSD专家，均保证采集到同样准确的数据，速度更快，精度更高。
AZtecHKL综述
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***EBSD软件可以实现采集及分析数据，完全同步进行
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***新推出新一代EBSD探测器，Nordly***ax2 （快速型）以及NordlysNano (灵敏型）
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真正实现同步采集EDS及EBSD数据及分析
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基于现代多任务系统，可以实现采集、分析及出报告同步完成
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***高达到4k的图像分辨率
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专为不同用户的环境设计——用户可以根据个人喜好更换导航模式或自定义模式
5、EDS/WDS/EBSD 一体化操作软件
形貌成分和晶体结构原位分析，可同时进行。
AZtecSynergy 操作软件可***控制电子显微分析装置。
