首先样气进入机柜时经过一个电动球阀，通常电动球阀是打开状态，当吹扫时，电动球阀关闭，，防止反吹气进入机柜，起到保护预处理系统的作用。样品气进入压缩机冷凝器除去湿气，冷凝液集结在冷凝器的下方，通过排液蠕动泵自动排除。接着样气经过一个保护过滤器除尘，再经过一个两位一通电磁阀，自动校零时洁净的空气通过此阀，经取样泵抽出，对分析仪的零点进行校准，接着气体进入二级制冷器进一步除湿干燥，除湿后的气体通过取样泵和一个手动三通阀，注入标准气对仪器的量程进行标校，后对样气再做进一步干燥后进入分析仪。
TK-1000CEMS过程控制的话，就是按照工艺要求，需要监测什么参数就监测什么参数就可以；若是监测排污口污染物的浓度等参数的话，主要监测参数包括：SO2、NO、O2、烟气***、烟气温度、烟气流量、烟气湿度、烟气压力这几项参数。
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