




无尘室的定义:空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为洁净室。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药行业等,菌菇净化工程,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,洁净室可以占据厂房很多位置。
无尘室系统制造符合规格之洁净空气,连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端,洁净室内的制造区。外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后,经由回风管道间,将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合,经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格,通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量,***后经过超高性能过滤网或过滤后,供应至Fab区。

无尘车间包括:净化空调系统、净化板围护结构、净化照明器具、净化水系统、净化防静电环氧自流平地面、净化设备等组成的能达到一定净化级别的整体。
无尘车间设放、施工和运行管理前后相关的三个环节,质量源于设计,设计是核心,而净化工程的施工又区别于一般的建筑工程 ,包括围护结构(俗称“房中房”);空调净化系统,供电、自控、弱电系统;纯水、排气、弱电系统,废气、废水处理系统及相关设施,光电净化工程,运行管理包括:实时检测、人员培训、设备维护以保证受控的生产科研环境持续符合要求。三个环节涵盖了空态、静态、动态三个占有状态;环境受控又融合了风险评估、生产认证的概念和程序;加之洁净技术跨行、跨***、跨科学的特点,使之无尘车间的难度和复杂性增加,因此对无尘车间 工程行来来说,优化设计、现场施工环境的协调与管控、工程相关技术细节的经验积累,对客户需求的理解和实现,以及对设计变更的准备和响应程度等都是衡量无尘车间施工团队能力的重要指标。

洁净室所需的净化空调系统的冷负荷与一般工业厂房或写字楼的一般空调系统的冷负荷相比,前者因空气洁净度等级和洁净室内生产工艺要求的不同,千级无尘净化工程,冷负荷大约为2093-6280kj/(㎡.h),嘉善县净化工程,而写字楼的一般空调系统的冷负荷仅335-502kj/(㎡/h).半导体集成电路制造或生物产品的主要生产工序都要求在洁净室内进行,为了保持所必须的空气洁净度等级,需要将大量的空气通过***过滤后送入洁净室内,写字楼的一般空调房间的换气次数为10次.h-1以下,而大规模集成电路生产所需的5级(100级)、4级(10级)、3级(1级)洁净室的换气次数可能达数百次,其送风量将会比前者大数十倍以至百倍上,因此洁净室的净化空调系统及其制冷机的耗电量比其他类型建筑物的一般空调系统及其制冷机的耗电量大得多,据调查统计大规模集成电量约占工厂总耗电量的50%左右;制药工厂洁净厂房的净化空调系统及其制冷机的耗电量约占工厂总耗电量的60%左右。

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